Standort: S3|06 414

• Aufdampfanlage, Elektronenstrahl und thermisch
• Thermisches Aufdampfen: Au, Ge
• Elektronenstrahl-Aufdampfen: Ni, Ti, Al, Pd und andere.
• Aufdampfen unter Winkel möglich

https://www.tuinfra.tu-darmstadt.de/