Der IMP-Reinraum bietet Verarbeitungstechnologie für die Strukturierung und Verarbeitung von Halbleitern, Dielektrika und anderen Materialien. Die technologischen Möglichkeiten erlauben auch die Bearbeitung von mikrofluidischen Elementen, Mikrowellenkomponenten und optischen Komponenten wie Bragg-Spiegeln.

Wetere Informationen über einzelne Anlagen in der Datenbank der TU Darmstadt : https://www.tuinfra.tu-darmstadt.de/